提高铜膜抗氧化性能的等离子浸没离子注入方法

摘要

一种材料表面改性技术领域的提高铜膜抗氧化性能的等离子浸没离子注入方法，包括如下步骤：取普通玻璃基片若干，将其先后置于去离子水和有机溶剂中超声清洗，烘干备用；将清洗后的玻璃基片固定在磁控溅射设备样品台上，采用沉积工艺制备铜膜；将沉积所得均匀铜膜取出并放置于等离子浸没离子注入设备上，利用金属棒作为靶源，进行离子注入处理，将所得铜膜置于加热炉氧化。本发明可以明显提高铜膜的抗氧化性能，且不存在改性层和铜膜之间的膜基结合力问题，等离子浸没离子注入技术是一种具有高度环保性的新型材料表面改性技术，且制备铜膜的磁控溅射技术也是一种无公害的膜沉积技术，故本发明具有高度的环保性。