高功率单模输出的微型半导体激光二极管及其制造方法

摘要

本发明高功率单模输出的微型半导体激光二极管及其制造方法，公开了一种非矩形谐振腔半导体激光二极管及其制造方法。谐振腔的两端与垂直出光端面靠近部分呈矩形单通道波导结构，谐振腔中间部分包括至少一个通道的波导结构，在保持谐振腔直线总长度不变以及激光二级管体积不变的情况下增加激光二极管的峰值光输出功率，使得在同尺寸衬底上的芯片产品率得到提高，从而降低产品的成本，为高密度集成光路和超小集成空间但要求高光功率的特殊应用提供解决方案。