公开/公告号CN101946155A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-01-12
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML控股股份有限公司;
申请/专利号CN200980105882.5
发明设计人 G·A·斯库尔特兹;
申请日2009-02-17
分类号G01B13/12;G03F7/20;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王波波
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-12-18 01:26:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-19
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B13/12 申请公布日:20110112 申请日:20090217
发明专利申请公布后的驳回
2011-04-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B13/12 申请日:20090217
实质审查的生效
2011-01-12
公开
公开
机译: 静压气体轴承,用于真空环境的静压气体轴承装置以及静压气体轴承装置的气体回收方法
机译: 真空环境中的静压气体轴承,静压气体轴承装置以及静压气体轴承装置的气体回收方法
机译: 真空环境中的静压气体轴承,静压气体轴承装置以及静压气体轴承装置的气体回收方法