用多边形光学近似修正线端的方法

摘要

本发明公开了一种用多边形光学近似修正线端的方法，包括如下步骤：(1)从电路设计版图中找出线端图形；(2)对步骤(1)中线端进行仿真评估，并决定对线端的光学临近修正采用多边形的边数，该多边形的边数大于五条边；(3)对电路设计版图进行模型式光学临近修正，线端修正采用步骤(2)所决定的多边形。本发明是在传统的模型式光学临近修正对线端采用锤头型的基础上把五条边变成大于五条边，这样在光学临近修正中对线端的修正中有大于五条边可供调整，比传统的方法多了更多条边的修正，这样给光学临近修正提供了更多的灵活性，可以满足修正的要求。