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利用传送模块上的单独一个面的交错式双处理室

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摘要

提供了一种增加基板处理系统的生产量的方法和设备。被配置为附接到群集工具(100)的用于处理基板的处理室(200)具有交错式双处理区域(210，212)。所述处理区域彼此隔离开，以便能够同时在每个区域中处理基板。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-09-25

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/67 申请公布日:20101124 申请日:20071220

发明专利申请公布后的视为撤回
2012-02-01

著录事项变更 IPC(主分类):H01L21/67 变更前: 变更后: 申请日:20071220

著录事项变更
2011-10-05

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20071220

实质审查的生效
2010-11-24

公开

公开

1. 利用传送模块上的单独一个面的交错式双处理室 [P] . 中国专利： CN101897014A . 2010-11-24
2. 用于具有辊传送器表面的模块式传送带的模块以及由多个这种模块形成的模块式传送带 [P] . 中国专利： CN108137236A . 2018-06-08
3. STAGGERED DUAL PROESS CHAMBERS USING ONE SINGLE FACET ON A TRANSFER MODULE [P] . 韩国专利： KR20100108364A . 2010-10-06

机译：在传输模块上使用一个单面的交错双过程聊天室
4. STAGGERED DUAL PROESS CHAMBERS USING ONE SINGLE FACET ON A TRANSFER MODULE [P] . 世界知识产权组织专利： WO2009079845A1 . 2009-07-02

机译：在传输模块上使用一个单面的交错双过程聊天室
5. STAGGERED DUAL PROCESS CHAMBERS USING ONE SINGLE FACET ON A TRANSFER MODULE [P] . SG162166A1 . 2010-07-29

机译：在传输模块上使用一个单面的交错双过程进程