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冷阴极电离真空计、真空处理设备和放电开始辅助电极

摘要

冷阴极电离真空计、真空处理设备和放电开始辅助电极。该冷阴极电离真空计无需使设备复杂化即使在长时间使用的情况下也能在短时间内触发放电。该冷阴极电离真空计具有如下结构:棒状阳极位于具有放电空间且一端被密封的测量元件容器(阴极)的内部,并且放电开始辅助电极被安装到该阳极。放电开始辅助电极通过在放电开始辅助电极板上形成碳纳米管层而在短时间内触发放电。

著录项

  • 公开/公告号CN101858812A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-10-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 佳能安内华股份有限公司;

    申请/专利号CN201010144421.3

  • 发明设计人 川崎洋補;菊池俊雄;

    申请日2010-04-09

  • 分类号G01L21/34(20060101);H01J41/06(20060101);

  • 代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人刘新宇;张会华

  • 地址 日本神奈川县

  • 入库时间 2023-12-18 00:52:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-01-16

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01L21/34 申请公布日:20101013 申请日:20100409

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2010-11-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01L21/34 申请日:20100409

    实质审查的生效

  • 2010-10-13

    公开

    公开

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