公开/公告号CN101858812A
专利类型发明专利
公开/公告日2010-10-13
原文格式PDF
申请/专利权人 佳能安内华股份有限公司;
申请/专利号CN201010144421.3
申请日2010-04-09
分类号G01L21/34(20060101);H01J41/06(20060101);
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇;张会华
地址 日本神奈川县
入库时间 2023-12-18 00:52:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-01-16
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01L21/34 申请公布日:20101013 申请日:20100409
发明专利申请公布后的视为撤回
2010-11-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L21/34 申请日:20100409
实质审查的生效
2010-10-13
公开
公开
机译: 冷阴极电离真空计,配备有冷阴极电离真空计的真空处理装置,用于冷阴极电离真空计的使用放电开始辅助电极的压力测定方法,冷阴极电离真空计
机译: 冷阴极电离真空计,装有冷阴极电离真空计的真空处理设备,用于冷阴极电离真空计的放电启动辅助电极和测量方法
机译: 冷阴极电离真空计,具有该真空计的真空处理装置,用于其的放电开始辅助电极以及使用该真空计的压力测量方法