异物检查和去除装置及异物检查去除程序

摘要

本发明通过自动地判断有无要去除的异物，以减轻使用者的作业负担及排除判断误差、防止基板(W)的破损并防止作业时间的延长。异物检查和去除装置包括：获取基板表面的附着异物的异物信息的异物信息获取部(3)；将附着异物予以去除的异物去除部(4)；对针对基板表面(W1)的各区域而设定的阈值、与由异物信息获取部(3)获取的各区域的异物信息进行比较的比较部(54)；以及根据比较部(54)的比较结果，利用异物去除部(4)来将所述基板表面(W1)的异物予以去除的异物去除控制部(55)。