公开/公告号CN101815766A
专利类型发明专利
公开/公告日2010-08-25
原文格式PDF
申请/专利权人 道康宁东丽株式会社;陶氏康宁公司;
申请/专利号CN200880110251.8
申请日2008-10-03
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人张钦
地址 日本东京
入库时间 2023-12-18 00:39:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-07-16
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L31/0216 申请公布日:20100825 申请日:20081003
发明专利申请公布后的驳回
2010-10-13
实质审查的生效 IPC(主分类):C09D183/04 申请日:20081003
实质审查的生效
2010-08-25
公开
公开
机译: 陶瓷氧化硅类涂层的形成方法,无机基材的制造方法,陶瓷氧化硅类涂层的形成剂以及半导体装置
机译: 形成氧化硅陶瓷涂层的方法,具有氧化硅陶瓷涂层的无机基材料的制造方法,氧化硅陶瓷涂层的形成剂以及半导体器件
机译: 形成陶瓷氧化硅类型的涂层的方法,生产无机基材料的方法,形成陶瓷氧化硅类型的涂层的试剂和半导体装置