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测量纯电阻材料层的阈值厚度的方法、实现该方法的设备和这种设备在排气消声器中的使用

摘要

本发明提供了一种可靠、简单和准确的用于检测在传感器上沉积的纯电阻材料的阈值厚度的方法,并且提供了不依赖于材料的电阻率的响应。本发明提供了使用传感器的测量方法,该传感器包括至少两个电极对,至少两个电极对被施加有在电极之间产生电流的定义的电压,这两个电极对通过至少一个第一参数和至少一个第二参数相异,至少一个第一参数是从电极的宽度、间距、长度和向每个电极对施加的电压中选择的,将上述参数中的至少一个第二参数调整为使得当达到阈值厚度时,第一对的电极之间的第一电阻或者第一电流和第二对的电极之间的第二电阻或者第二电流是相等的。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-04-24

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N27/04 申请公布日:20100616 申请日:20080612

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2010-09-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N27/04 申请日:20080612

    实质审查的生效

  • 2010-06-16

    公开

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