一种低合金钢表面氮化氧化复合处理装置及处理方法

摘要

本发明公开了一种低合金钢表面氮化氧化复合处理装置及处理方法，所述的装置包括真空炉、进气系统、抽真空系统、供电系统、测温系统，所述的真空炉内安装有空心阴极辅助装置和工件平台，所述的空心阴极辅助装置由两个直径不同且带有孔洞的小圆筒和大圆筒组成，所述的小圆筒和大圆筒分别与电源的阴极连接，所述的小圆筒放置有绝缘陶瓷片；所述的工件平台包括支座和载物台，所述的支座位于真空炉底座上，所述的载物台位于支座上，用于放置工件并与电源的阳极连接。本发明通过空心阴极装置的放置，用空心阴极放电提高放电强度和离化率，从而产生高浓度、高活性的渗扩物质，在表面形成耐蚀性好，硬度高，同时摩擦磨损性能良好的改性层。