一种膜基反射镜面形控制系统及控制方法

摘要

本发明公开了一种膜基反射镜面形控制系统及其控制方法。该系统包括：标准面形设计模块、仿真分析模块、面形监视模块、模糊逻辑控制模块、面形控制促动器和面形反馈模块；它以设计所需的膜基反射镜的口径和F数为参数，采用Zernike多项式系数的形式，确定标准反射镜面形数据；探测膜基反射镜的实时面形，以膜基反射镜与标准反射镜的中心截面矢高误差为控制变量，经模糊逻辑控制器处理，输出膜基反射镜成形所需的电压值，采用静电法改变膜基反射镜的面形。本发明采用基于有限元分析方法的面形控制的仿真分析，预测控制的效果，优化模糊控制规则库，降低了控制器设计难度。该方法的提出为实现膜基反射镜面形的有效控制提供了技术基础。