法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-12-05
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/27 申请公布日:20100623 申请日:20091231
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-06-08
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/27 申请日:20091231
实质审查的生效
2010-06-23
公开
公开
机译: 一种光电组件,主要由掺杂或未掺杂的多组分半导体组成,该半导体具有至少一种组分或至少一种掺杂剂的梯度
机译: 一种在低熔点基材上气相沉积类金刚石膜的方法。
机译: 掺杂材料掺杂材料的制备方法,用于成膜,分层产物的制备方法,掺杂膜形成掺杂材料和半导体膜