具有不同敏感度的分层辐射敏感材料

摘要

本发明涉及具有不同敏感度的分层辐射敏感材料。本发明提供一种用于制作辐射固化结构的方法。该方法包括提供第一辐射敏感材料的步骤以及将第二辐射敏感材料施加到第一辐射敏感材料上的步骤。第一辐射敏感材料具有第一敏感度。第二辐射敏感材料具有不同于第一敏感度的第二敏感度。至少一个掩模被放置在至少一个辐射源与第一和第二辐射敏感材料之间。该掩模具有多个基本透射的辐射透射孔。然后，第一和第二辐射敏感材料被暴露于穿过该掩模中的辐射透射孔的多个辐射线束，从而在第一辐射敏感材料中形成第一构造并且在第二辐射敏感材料中形成第二构造。该第一构造和第二构造相互协作以形成辐射固化结构。