基于深腐蚀波导的光纤陀螺用GaAs集成光学芯片

摘要

本发明公开了一种基于深腐蚀波导的光纤陀螺用GaAs集成光学芯片。光由单模波导输入经3dB耦合器的输入波导接入3dB耦合器的输入端，3dB耦合器的输出端分为两路，一路经3dB耦合器的左输出波导、左S形弯曲波导接左相位调制器，另一路经3dB耦合器的右输出波导、右S形弯曲波导接右相位调制器。深腐蚀波导结构指波导的上限制层和芯层两侧被全部腐蚀，下限制层与芯层相连接处的两侧被部分腐蚀。深腐蚀波导结构可以加强波导对光的限制，从而提高相位调制器的调制效率。采用MMI作为3dB耦合器，不仅可以降低耦合器引入的传输损耗，而且可以使器件结构更加紧凑，降低了器件的总尺寸。