薄膜表面微观缺陷扩展的光学检测方法及实施装置

摘要

本发明涉及图像处理、微纳观结构的力学检测和实验力学，具体讲涉及薄膜表面微观缺陷扩展的光学检测方法。本发明的目的在于提供一种用于检测脱沾屈曲边界的扩展过程的技术方案，本发明采用的技术方案是，薄膜表面微观缺陷扩展的光学检测方法及实施装置，包括、光学显微系统、图像采集装置、输入端、存储装置和处理器，处理器：用于在程序控制下处理表示图像的数据集，从而通过操作来确定该图像中的薄膜/基底结构中的脱沾屈曲破坏的边界以及边界的扩展，输出端：用于显示脱沾屈曲破坏边缘扩展的检测结果。本发明主要应用于微纳观结构的力学检测。