法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-23
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/08 申请公布日:20100331 申请日:20080613
发明专利申请公布后的驳回
2012-08-08
著录事项变更 IPC(主分类):C23C14/08 变更前: 变更后: 申请日:20080613
著录事项变更
2011-02-16
专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C14/08 变更前: 变更后: 登记生效日:20110104 申请日:20080613
专利申请权、专利权的转移
2010-05-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/08 申请日:20080613
实质审查的生效
2010-03-31
公开
公开
机译: 复合氧化物烧结体,非晶复合氧化物膜的制造方法,非晶复合氧化物膜和结晶复合氧化物膜的制造方法及结晶复合氧化物膜
机译: 非晶复合氧化物膜,结晶复合氧化物膜,非晶复合氧化物膜的制造方法,结晶复合氧化物膜的制造方法以及复合氧化物烧结体
机译: 非晶复合氧化物膜,结晶复合氧化物膜,非晶复合氧化物膜的制造方法以及结晶复合氧化物膜的制造方法