基于激光发生器阵列的可编程式光源及使用方法和用途

摘要

本发明涉及一种基于激光发生器阵列的可编程式光源及使用方法和用途，包括光源体，所述光源体上有激光发生器阵列，激光发生器阵列由两个以上激光发生器单元排列组成，每个单独的激光发生器单元独立产生光；由可编程的控制电路连接每一个激光发生器单元，控制电路控制每一个激光发生器单元的开启或关闭。本发明可以取代现有的基于物理或光学调节的光刻机光源系统，实现先进光刻工艺所需要的各种需求不同的照明方式，提高了光刻工艺的能力，同时降低光刻机照明系统的成本。