一种基于游标效应的级连环形腔光波导传感器

摘要

本发明公开了一种基于游标效应的级连环形腔光波导传感器。它包含输入波导、与输入波导相耦合的传感环形谐振腔、与传感环形谐振腔相耦合的连接波导，与连接波导相耦合的参照环形谐振腔，与参照谐振腔相耦合的输出波导，传感环形谐振腔与参照环形谐振腔的光学长度不同，传感环形谐振腔的一个谐振频率与参照环形谐振腔的一个谐振频率重合时其相邻的谐振峰不完全重合。传感环形谐振腔中至少有一部分波导的上包层与被测物质接触，被测物质的变化会引起模式有效折射率变化，从而引起谐振谱的移动。通过双谐振腔的游标效应可将此移动放大，并将其转换为相邻两个谐振峰的功率比变化，从而更有效地检测包层被测物质的变化。