法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-12-26
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B01D53/047 申请公布日:20100317 申请日:20090927
发明专利申请公布后的视为撤回
2010-04-28
实质审查的生效 IPC(主分类):B01D53/047 申请日:20090927
实质审查的生效
2010-03-17
公开
公开
机译: 真空泵的排气系统,在真空泵的排气系统中提供的真空泵,吹气供应设备,温度传感器单元以及真空泵的排气方法
机译: 真空泵系统,真空泵系统的操作方法,制冷机,真空泵,制冷机的操作方法,两阶段式制冷机的操作控制方法,冷冻泵的运行控制方法,两阶段式制冷机,冷冻机,冷冻机电子设备的制造方法
机译: 一种用于在由真空泵泵送的外壳中提供压力调节的系统