用于产生电磁辐射的辐射源和用于产生电磁辐射的方法

摘要

本发明公开了一种用于产生电磁辐射的辐射源(50)，包括阳极(1)、阴极(2)和放电空间(4)。所述阳极(1)和所述阴极(2)配置用以在放电空间(4)中的物质(P)内产生放电(16)以形成等离子体(16)，以便产生电磁辐射。所述辐射源(50)还包括燃料供给装置(14)，所述燃料供给装置构造并布置成将所述物质(P)的至少一种成分供给到所述放电空间(4)附近的位置处。所述燃料供给装置(14)设置成离开阳极(1)和阴极(2)一定距离。所述辐射源(50)还包括另一供给装置(10)，其构造并布置成在阳极(1)和/或阴极(2)上或附近产生和/或保持冷却和/或保护层。