不锈钢表面抛光的化学机械抛光组合物

摘要

本发明涉及一种不锈钢表面抛光的化学机械抛光组合物，该抛光组合物由磨料、氧化剂、抛光促进剂、金属螯合剂、渗透剂、表面活性剂组成，其特征在于：加入了氧化铝溶胶，即以胶体状态分散于酸性水溶液中的水合氧化铝，水合氧化铝可以是勃姆石、假勃姆石、水铝石、三水铝石。