一种高光束质量二维垂直腔面发射激光器列阵

摘要

一种高光束质量二维垂直腔面发射激光器列阵，属于半导体激光器件技术领域涉及的激光器列阵。要解决的技术问题：提供一种高光束质量二维垂直腔面发射激光器列阵。解决的技术方案包括面电极、中心区单一单元激光器件，第一圆环单元激光器件，第二圆环单元激光器件。列阵的中心为中心区单一单元激光器件，在其外侧的同心圆环上均匀分布第一圆环单元激光器件，在第一圆环外侧的同心圆环上均匀分布第二圆环单元激光器件，且第一、第二圆环上单元激光器件的个数相同，同一个圆环上单元激光器件的直径相等，不同圆环上单元激光器件的直径从内至外依次减小，中心区单元激光器件与处于每个同心圆环同一方位的单元激光器件在同一个半径上呈射线状排列。