使用稀有气体添加剂通过变压吸附制造臭氧

摘要

本发明涉及使用稀有气体添加剂通过变压吸附制造臭氧。将氦气作为添加剂加入任何被引导到臭氧发生器(如介电放电(冷等离子体)臭氧发生器)的氧气流中，其中所述发生器的流出物被引导到吸附过程以从所述氧气分离臭氧。还公开了一种改进的PSA循环，其被设计成减少维持臭氧生成和回收过程所需的补充氦气和氧气的量。