在金属硅化物微晶体上形成纳米结构的方法和得到的结构和器件

摘要

本发明的各个实施例涉及用于在非单晶体基底上形成纳米结构的方法和结果产生的结构和纳米级功能器件。一种用于形成纳米结构的方法包括：形成包括金属层(100)和硅层(104)的多层结构(106)；将所述多层结构(106)进行热处理以形成金属硅化物微晶(110)；并且在所述金属硅化物微晶上生长所述纳米结构(114)。在本发明的另一个实施例中，一种结构包括：非单晶体基底(102)；在所述非单晶体基底(102)上形成的层(108)，所述层包括金属硅化物微晶(110)；以及在所述金属硅化物微晶(110)上形成的多个纳米结构(114)。