一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置

摘要

一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置，属于短波段光学技术领域涉及的一种成像质量测试装置，要解决的技术问题是：提供一种极紫外成像光学仪器的成像质量测试装置。解决的技术方案：包括极紫外光源、金属栅网、离轴抛物面反射镜、待测极紫外成像光学系统、极紫外相机。在极紫外光源的光的传播放方向上，依次放置金属栅网、离轴抛物面反射镜，金属栅网放置在离轴抛物面反射镜的焦面处，通过金属栅网的光线将被离轴抛物面反射镜准直，在离轴抛物面反射镜反射光的光路上依次置有待测极紫外成像光学系统、极紫外相机；极紫外相机像面放置在待测极紫外成像光学系统的焦面处。该装置结构简单，提高了测量分辨率。