极紫外太阳望远镜成像质量检测系统设计

摘要

为了在实验室模拟空间环境,检测极紫外太阳望远镜成像质量,提出了由激光等离子光源、Newton型准直光管系统、背照射CCD相机、真空系统等组成的工作波段为17～30 nm的极紫外准直光管检测系统,给出了详细的物理分析、光学设计和真空系统设计方法和结果.真空实验测试结果表明,系统在80 min内,真空度即可达到5×10-4 Pa的设计指标,满足极紫外波段检测太阳望远镜的要求.