一种可回收废气的空气静压轴承及设计方法

摘要

本发明属于精密加工及测量技术领域，涉及一种空气轴承技术，包括主轴、轴承套，外部排气管，在轴承套内设置封闭零压槽环路收集所有废气，轴承套两端的零压槽环路还将位于二者之间的高压区与外部环境隔离，零压槽环路与外部排气管之间通过排气管道或者直接用排气孔连接起来，由外部排气管将所有废气引出、回收。本发明首次提出将在空气静压轴承内设置封闭的零压槽环路，对废气进行有目的的引导，使它与测量环境分离，消除了因废气的排放所产生的气体扰动对测量环境的影响，显著提高了测量系统的测量精度，优化了空气静压轴承的结构，有效的防止了灰尘从排气孔进入轴承，可广泛用于精密加工及测量装备中。