公开/公告号CN101561518A
专利类型发明专利
公开/公告日2009-10-21
原文格式PDF
申请/专利权人 中国建筑科学研究院;建研地基基础工程有限责任公司;
申请/专利号CN200910302672.7
申请日2009-05-27
分类号G01V9/00;E02F3/88;E02F5/30;
代理机构北京中建联合知识产权代理事务所;
代理人朱丽岩
地址 100013 北京市朝阳区北三环东路30号
入库时间 2023-12-17 22:48:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-09-28
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01V9/00 公开日:20091021 申请日:20090527
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-12-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-10-21
公开
公开
机译: 从真空容器中的区域即处理腔室抽吸爆炸性抽吸气体的方法涉及通过将喷射气体下游的泵组件压缩由推进气体喷射泵产生的抽吸气体-摩擦气体混合物的方法
机译: 用于气体和/或真空分配设备,抽吸单元,进料器,薄片处理器以及用于控制气体和/或真空分配设备的方法
机译: 用于气体和/或真空分配的装置,抽吸单元,供应设备,片材加工机以及用于引导用于气体和/或真空分配的装置的方法