大面积亚微米有序结构图形的生成方法

摘要

本发明公开了一种大面积亚微米有序结构图形的生成方法，涉及微纳米级制造领域，其特征在于包括：首先，在清洁的初制衬底表面化学键合或物理吸附一层符合大小与形状要求的单层粒子；然后，在所述衬底及单层粒子上沉积生成金属薄膜层；继而，采用适当的有机溶剂溶解该单层粒子，并将单层粒子连同沉积在其表面的金属薄膜一并剥离，在初制衬底表面形成金属掩膜图形；最后，采用适当的方法将金属掩膜图形转移到实需衬底，生成有序的亚微米结构图形，并将掩模金属层去除。实施本发明大面积亚微米有序结构图形的生成方法，其具有结构图形的生成灵活可控、衬底选择性广、大面积生成易于实现，及成本低廉和无需昂贵加工设备的有益效果。