设计支持系统、可读介质、半导体器件设计和制造方法

摘要

提供一种设计支持系统、可读介质、半导体器件设计和制造方法。该设计支持系统包括栅极膜信息获取部件和最大容许天线比率设置部件。该栅极膜信息获取部件获取有关已被设计的半导体器件的栅极绝缘膜的厚度的信息。栅极绝缘膜厚度指的是物理膜厚度。该最大容许天线比率设置部件根据通过该栅极膜信息获取部件获取的膜厚度信息来设置用于栅电极的最大容许天线比率。因此，当根据栅极绝缘膜的厚度改变最大容许天线比率时，设计半导体器件的设计者能够设置具体值。