一种可弯曲全透明ZnMgO薄膜晶体管及其制备方法

摘要

本发明公开的可弯曲全透明ZnMgO薄膜晶体管，以Zn1－xMgxO合金半导体薄膜，0＜x＜1为沟道层，以Ga掺杂的n型ZnO为栅极、源极和漏极，以Al2O3为栅极绝缘层，以聚对苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酩、有机玻璃或聚萘二甲酸乙二醇酯有机聚合物为衬底，采用射频磁控溅射法制备。本发明的薄膜晶体管具有光敏退化性小、迁移率高，响应速度快、柔性可弯曲、性能稳定性好的优点。