大口径光学镜面Ronchi光栅定量检测仪

摘要

大口径光学镜面Ronchi光栅定量检测仪，包括计算机系统、高精度数字彩色CCD、大数值孔径光纤光源、可更换式Ronchi光栅，反射镜；计算机系统与高精度数字彩色CCD连接，大数值孔径光纤光源发出的光将可更换式Ronchi光栅投影到待测光学镜面上，并被反射回到可更换式Ronchi光栅上，反射回的投影与可更换式Ronchi光栅自身发生叠加产生阴影图，此阴影图经过反射镜反射后通过高精度数字彩色CCD采集后传输到计算机系统里，由安装在计算机系统上的数据处理软件把可分辨阴影条纹对应的面形数据信息提取出来，从而获得被测待测光学镜面的面形信息。本发明为大口径光学镜面的研制提供了一种非常有效的低成本检测装置，在大误差的定性测量方面有非常显著的优势，具有较大的应用价值。