用于规划对检查对象的组合检查的方法

摘要

一种用于规划利用两个成像模态对检查对象进行组合检查的方法，其中在检查对象的至少两个区域中实施测量，所述方法包括如下的方法步骤：规划第一模态的至少一个测量方案(101，103，105，107，109)，该第一模态包括至少一个在第一区域中的测量(103a－109b)和至少一个在第二区域中的测量(103a－109b)；规划第二模态的至少一个测量方案，该第二模态包括至少一个在第一区域中的测量；以及通过如下地安排测量自动建立组合的测量流程：在考虑在测量之间实施的对模态的准备的条件下，该测量流程的实施占用尽可能少的时间。通过自动建立实际测量流程使得可以按照简单的方式对多个区域规划单个模态的测量方案。因此，在测量规划中诊断问题可以居首位。