公开/公告号CN101460819A
专利类型发明专利
公开/公告日2009-06-17
原文格式PDF
申请/专利权人 霍廷格-鲍德温测量技术设备公司;
申请/专利号CN200780018749.7
发明设计人 H·鲁平;
申请日2007-03-16
分类号G01L1/22;
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人侯鸣慧
地址 德国达姆施塔特
入库时间 2023-12-17 22:10:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-10-17
授权
授权
2009-08-12
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-06-17
公开
公开
本发明涉及一种具有载体层的应变片,在该载体层布置一测量栅,并 且涉及一种具有这种应变片的测量值接收机。
应变片作为测量值接收机用于电测量延伸。根据延伸可按照强度理论 计算出材料应力。根据要测量的参量和应用领域,使用不同类型的应变片, 其中,应变片通过粘接或其它方法附着到测量部位上。
应变片可以按照不同的制造方法划分。其中已知所谓薄膜技术应变片, 应变片元件蒸镀到测量体上。
此外已知所谓薄膜应变片。在制造薄膜应变片时,用极薄的材料薄膜 以照相平版法通过蚀刻制成一回曲形的测量栅。该测量栅然后通过粘接与 用有机材料制成的绝缘载体层连接。作为载体层,根据用途和要求,使用 用由环氧树脂、酚醛树脂、聚酰亚胺、聚苯撑硫、聚芳醚酮等载体层材料 (DE 42 36 981 C1)。
载体层与测量栅之间的粘接通常通过热压工艺(复合)进行。以相同 的方式将应变片附着到测量值接收机例如称量单元上。
在复合测量栅薄膜与用前述载体层材料之一制成的载体时,由于两种 材料的热膨胀率不同,导致复合物内部应力(强烈的起卷效应,双金属效 应)。这些内应力然后又存在于制成的应变片中。在用带有内应力的应变 片制成的测量值接收机中,这对蠕变特性、漂移特性、零点稳定以及测量 值接收机特征值的温度系数产生不良影响。
本发明的任务是,提供一种应变片以及一种具有应变片的测量值接收 机,其具有高的测量精度并且尤其具有高的直线性和优化的蠕变特性。
根据本发明,该任务的解决方案是,载体层用有机材料、优选用聚醚 醚酮构成并且在制造是被设置例如由滑石粉、氮化硼、氧化铝或其它有机 材料构成的填料,这些材料降低载体层的热膨胀。通过使用由例如填有滑 石粉的聚醚醚酮薄膜构成的载体层,合成材料薄膜的热膨胀率根据填充度 不同而降低。所使用的测量栅薄膜在此具有12-17ppm/K的膨胀系数。按 照现有技术使用的PEEK薄膜作为载体层材料具有约45ppm/K的膨胀系 数。按照本发明所使用的例如填有滑石粉的PEEK薄膜具有明显比为填料 的PEEK薄膜的膨胀系数小的膨胀系数。由此使测量栅薄膜与载体层相比 的热膨胀系数差明显减小。因此在复合过程中材料(载体层/测量栅)的延 伸在加热和接着冷却时很大程度上是相同的。由此可制成很大程度上平滑 的复合物,其中,在制成的应变片中内应力很小。
借助在附图中示出的实施方式详细解释本发明。
附图示出:
图1根据本发明的应变片的剖面图。
图1示出根据本发明的应变片1的横剖面,该应变片主要由载体层2 和测量栅3组成。载体层2是一合成材料薄膜,例如聚醚醚酮薄膜(PEEK 薄膜),它在制造时被设置填料,例如滑石粉、氮化硼、氧化铝。也可使用 其它有机材料,这些材料降低合成材料薄膜的热膨胀。合成材料薄膜的热 膨胀率根据填充度不同而降低。在此在制造时规定填充度≥20%。这样制造 的填有例如滑石粉过构成的填料的聚醚醚酮薄膜优选具有10μm至100μm 的厚度。在载体层2上施加测量栅3,它带有回曲形布置的、构成的元件, 例如由导电材料薄金属层构成。该回曲形设置的元件的端部通过未示出的 连接区域与例如惠斯通电桥形式的求值电路连接。测量栅3从该金属层例 如通过照相平版法得到其结构,其中,测量栅3和载体层2通过粘接层4 相互固定连接。作为粘接剂大多使用环氧树脂基或酚醛树脂基的粘接剂。
载体层和测量栅之间的粘接通过热压工艺(复合)进行。也可以相同 的方式使应变片1附着于未示出的测量值接收机(例如称量单元)上、通 过例如用滑石粉填充合成材料薄膜≥20%,所使用载体层材料的热膨胀率明 显降低,由此,两种材料(载体层/测量栅)的膨胀系数差很小。因此在复 合过程中这些材料的延伸在加热和接着冷却时很大程度上是相同的。由此 可制成很大程度上平滑的复合物,其中,复合物中或者说制成的应变片中 内应力明显较小。
机译: 用于电气测量的应变片,例如正表面应变,具有被压在被测表面上的应变敏感元件,因此表面上的应变通过摩擦传递到应变敏感元件
机译: 应变片和金属带具有这种应变片
机译: 应变片和金属带具有这种应变片