纳米晶锆钛酸铅－石英复合结构压电传感材料的制备方法

摘要

本发明涉及一种纳米晶锆钛酸铅－石英复合结构压电传感材料的制备方法，首先制备锆钛酸铅PZT前驱体溶胶，通过减压蒸馏后得到PZT干凝胶，再将干凝胶溶解在乙二醇甲醚中，并加入丙三醇和冰醋酸的混合溶液作为干燥控制化学试剂，制成PZT溶胶；然后在石英基体表面旋涂PZT溶胶并进行热处理得到一层薄膜，重复旋涂及热处理过程获得多层薄膜后，进行晶化处理，由此在石英基片上复合得到纳米晶PZT薄膜，获得纳米晶PZT－石英复合结构压电传感材料。本发明充分利用了PZT的压电性能好及石英晶体频率稳定性高的特点，在石英基体上复合的PZT纳米晶结构具有晶向趋向性好，结构致密，压电系数更高的优点。