法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-06-27
专利权的视为放弃 IPC(主分类):C22B1/14 放弃生效日:20090617 申请日:20071212
专利权的视为放弃
2009-08-12
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-06-17
公开
公开
机译: 电子束气相沉积设备,利用该沉积设备生产石英光波导的装置及其生产方法
机译: -用于微光刻投影曝光系统的照明系统,具有这种照明系统的投影曝光系统,利用这种类型的投影曝光设备生产微结构部件的方法以及通过该方法生产的微结构部件。
机译: 方法和设备以及利用该设备生产混纺纱或复合纱的方法