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以短脉冲,固态紫外线激光做微加工

摘要

在一些具体实施例里,含有至少一具有短于400微米的波长并且具有一小于1,000微微秒(picosecond)的脉冲宽度的激光脉冲(32)的激光输出可提供数个(δN)脉冲,以清洁一通孔的底部表面或一焊接区的表面,借此提高工艺产量。可利用一与一放大模块(16)共同运作的震荡器模块(12)以产生该激光输出。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-06-08

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B23K26/36 授权公告日:20131218 终止日期:20170521 申请日:20070521

    专利权的终止

  • 2013-12-18

    授权

    授权

  • 2009-07-29

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-06-03

    公开

    公开

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