法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-09-05
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23F1/14 公开日:20090603 申请日:20080704
发明专利申请公布后的视为撤回
2010-08-25
实质审查的生效 IPC(主分类):C23F1/14 申请日:20080704
实质审查的生效
2009-06-03
公开
公开
机译: 制造微观结构的方法,制造用于模制微观结构的模具的方法,制造具有微观结构的光学元件的方法,具有微观结构的光学元件和光学装置
机译: 三维微观结构,具有至少两个三维的微观结构的组装,该方法和微观结构在制造微观结构中的用途
机译: 微观结构的制造方法,由其制造的微观结构以及具有微观结构的场效应半导体元件