气体激光振荡器的异常检测方法及气体激光振荡器

摘要

本发明提供气体激光振荡器的异常检测方法及气体激光振荡器，该气体激光振荡器，其通过激光电源激励放电管内的激光气体，检测发生激光的气体激光振荡器的异常，包含：存储单元，用于存储气体激光振荡器的通常运行时的输出指令和激光电源的DC电流的关系；输出指令生成单元，用于生成与输出指令和DC电流的关系中的电流的峰值对应的输出指令；电流检测单元，用于在气体激光振荡器待机运行时根据输出指令检测使激光电源动作时的电流；和异常判定单元，用于根据通过电流检测单元检测到的检测电流和输出指令和DC电流的关系中的电流的峰值，判定在气体激光振荡器的放电负荷中是否有异常。进而优选具有在判定有异常的场合使气体激光振荡器停止的停止单元。