法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-11-14
授权
授权
2011-03-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G11B 5/55 申请日:20080202
实质审查的生效
2009-08-05
公开
公开
机译: 薄膜压电元件及其制造方法,微致动器,磁头万向接头组件和具有该压电元件的磁盘驱动装置
机译: 薄膜压电元件及其制造方法,微致动器,头云台组件和具有相同结构的磁盘驱动单元
机译: 薄膜压电元件及其制造方法,微致动器,头云台组件和具有相同结构的磁盘驱动单元