用于光学涂层的具有增强的抗腐蚀性和抗划伤性的防护层

摘要

将可氧化的金属硅化物或金属铝化物用作光学涂层的外层中的一层以提供抗腐蚀和抗划伤的阻挡层。所述层初始地以未氧化的或部分氧化的状态沉积。在该化学状态下，所述层对下面的层提供了腐蚀防护。所述金属化合物或金属间化合物层具有大于大多数金属的硬度性质，并因此提供显著的划伤防护。