法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-09-07
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/00 公开日:20090401 申请日:20081030
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-05-27
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-04-01
公开
公开
机译: 抗反射亚波长光栅纳米结构的制备方法及抗反射层的光电器件的制备方法
机译: 具有亚波长光栅纳米结构的减反射层及其制备方法
机译: 具有亚波长光栅纳米结构的减反射层及其制备方法