法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-04-20
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/26 公开日:20090401 申请日:20081030
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-05-27
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-04-01
公开
公开
机译: 硅晶体生长中石英坩埚的涂覆方法和硅晶体生长中石英坩埚的涂覆方法
机译: 用于硅晶体生长的石英坩埚的涂覆方法和用于硅晶体生长的石英坩埚
机译: 硅晶体生长中石英坩埚的涂覆方法和硅晶体生长中石英坩埚的涂覆