用于微电子等离子体处理工具的高性能微型射频传感器

摘要

本发明提供一种高性能微型RF传感器，其维持微型封装中的增益、方向性和隔离。所述微型RF传感器包含设置在PCB构造中的经堆叠的电流和电压拾波器，所述传感器进一步包含四分之一波形变换滤波器、三轴屏蔽以及集肤效应滤波。