法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-01-19
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/302 公开日:20090218 申请日:20040510
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-04-15
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-02-18
公开
公开
机译: 第II步铜衬里和其他相关材料的化学机械抛光组合物及其使用方法
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