具有侧边口袋注入的电荷捕捉装置

摘要

本发明公开了一种具有侧边口袋注入的电荷捕捉装置，提供了一种电荷捕捉存储单元，其具有沿着信道侧边的口袋注入，该侧边口袋注入具有和信道相同的导电型态，且该注入的掺杂物浓度较信道中央区域来的高。此种结构可有效防止电荷捕捉结构因鸟嘴或其它边缘异常而造成信道侧边非均匀电荷捕捉现象，且前述口袋注入可利用兼容于标准浅沟道隔离工艺的方法形成。