嵌片式复合工具及电化学机械复合加工装置及其加工方法

摘要

本发明涉及嵌片式复合工具及电化学机械复合加工装置及其加工方法。本发明的复合工具包括有嵌片及基体，嵌片固定在基体上。本发明的复合工具制作简便，更换嵌片容易，可以通过调整嵌片和基体的几何参数来调整加工过程中的极间间隙，电解区域和磨削区域的比例，同时可以根据加工材料可以采用尽量小的磨粒，从而达到比较高的表面粗糙度。本发明的复合加工装置包括机械运动机构、控制系统及电解液供给系统，其中机械运动机构包括能使复合工具实现自旋运动的机构以及能使复合工具相对于工件实现上下前后左右运动的机构。本发明的加工过程是利用电化学阳极溶解原理和机械刮膜作用的复合实现金属去除。对难加工材料的加工具有工具损耗小，加工效率高，加工精度高等特点。