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一种用于磁电子罗盘的磁电阻薄膜材料及其制备方法

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一种用于磁电子罗盘的磁电阻薄膜材料及其制备方法，属于磁性多层膜的制备技术领域。具体步骤为，在清洗干净的玻璃基片或单晶硅基片上沉积(Ni

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公开/公告号CN101345117A

专利类型发明专利
公开/公告日2009-01-14

原文格式PDF
申请/专利权人北京科技大学;
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申请/专利号CN200810106197.1
发明设计人于广华;张辉;滕蛟;王立锦;
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申请日2008-05-09
分类号H01F10/14;H01L43/12;H01L43/08;C23C14/24;
代理机构
代理人
地址 100083 北京市海淀区学院路30号
入库时间 2023-12-17 21:15:08

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-03-23

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01F10/14 公开日:20090114 申请日:20080509

发明专利申请公布后的视为撤回
2009-03-04

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-01-14

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