高重复频率光子晶体光纤紫外超短脉冲激光加工机

摘要

本发明公开了一种高重复频率光子晶体光纤紫外超短脉冲激光加工机，属于激光技术领域。该加工机包括光子晶体光纤的或固体的飞秒激光振荡级、高功率大模场光子晶体光纤激光放大器、激光多倍频器、准直和聚焦系统、精度为纳米量级的精密三维微位移平台和计算机控制系统构成。该加工机具有重复频率高，结构简单，稳定性好，运行费用低、光束质量高、脉宽窄和高功率的优点。