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应用不同的呈现角度评估器件的表面结构

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本申请涉及一种光学地检测器件(110)的表面结构(111)的方法。该方法具有以下步骤：(a)在器件(110)的方向上发射照射光线(102)；(b)通过在器件(110)和照射光线(102)之间的相对移动来扫描器件(110)，其中，以第一角度来照射器件(110)，并且其中，测量光线(107)被接收，该测量光线由器件(110)至少部分地回散射到光线探测器(106)上；以及，(c)通过在器件(110)和照射光线(102)之间的再一次的相对移动来再一次扫描器件(110)，其中，以与第一角度不同的第二角度来照射器件(110)并且测量光线(107)被再一次接收，该测量光线由器件(110)至少部分地回散射到光线探测器(106)上。

著录项

公开/公告号CN101324426A

专利类型发明专利
公开/公告日2008-12-17

原文格式PDF
申请/专利权人西门子公司;
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申请/专利号CN200810111062.4
发明设计人卡尔-海因茨·贝施;马蒂亚斯·黑德里希;劳克斯·纽梅尔;托马斯·施内肯布格尔;
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申请日2008-06-10
分类号G01B11/25;
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人章社杲
地址德国慕尼黑
入库时间 2023-12-17 21:06:40

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-02-06

专利权的视为放弃 IPC(主分类):G01B11/25 放弃生效日:20081217 申请日:20080610

专利权的视为放弃
2010-07-21

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/25 申请日:20080610

实质审查的生效
2009-09-02

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20090731 申请日:20080610

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
2008-12-17

公开

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